叠层硅片全自动清边系统 

本设备配备高速振镜光学系统，对镀膜硅片四周多余膜层进 行清除，旋转加工平台和视觉对位等系统有效保证设备节拍 和精度，自动上下料结构满足联线量产需求。 

兆瓦线、G瓦线等叠层量产客户 

设备优势

1、多组上下料花篮缓存结构，设备容错率高； 

2、独特设计视觉定位系统，极大提升刻线位置精度； 

3、高速振镜光学系统，刻蚀速度高达60m/s，节拍快，产 量高。